SuperViewW1白光干涉光學3D表面輪廓儀可對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量,，主要在半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中,，對各種產品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

產品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋,、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

SuperViewW1光學3D表面輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

部分技術指標

性能特色

1,、高精度,、高重復性

1）采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高,；

2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復性；

2,、環(huán)境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊,，能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設備調試,、日常監(jiān)測,、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3,、精密操縱手柄

集成X,、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作,。

4、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,，另在Z軸上設計有機械電子傳感器,，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態(tài),，最大限度的保護儀器,，降低人為操作風險。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

自動拼接測量功能

SuperViewW1光學3D表面輪廓儀以白光干涉為原理的光學3D表面輪廓儀,，能同時滿足無損,、超高分辨率、耐高反等條件,。針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度,、大掃描范圍的需求，SuperView W1的復合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小,、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,，只需要確定起點和終點,，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域,，不見一絲重疊縫隙,。

旋轉拋物面零件，微小位移和角度檢測

復合型EPSI重建算法

手機插卡槽處的金屬薄片模塊需要測量不含凹面區(qū)域的表面輪廓和平整度，因其表面較為粗糙且定測量區(qū)域,，可使用高速FVSI算法,，并在拼接測量設定時，使用地圖導航功能,，在掃描時即可自動跳過凹面區(qū)域完成其余整體形貌的拼接測量,。

金屬薄片模塊

高速FVSI算法

SuperViewW1白光干涉光學3D表面輪廓儀不管是在粗糙或是光滑、異形或是平面結構,，當要測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域的時候,，可以根據(jù)不同表面特點進行重建算法的切換。